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20252453-T-424 项目

ChamberWidth(腔室宽度)

语义定义(Semantic definition)

当平面形状非圆形时的宽度。

Referenced in
Pset_DistributionChamberElementTypeInspectionChamber
Pset_DistributionChamberElementTypeMeterChamber
Pset_DistributionChamberElementTypeValveChamber
表 A